一、等离子体介绍

1.1 产品原理

通过对工艺气体施加电场使电离化为等离子体。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、自由活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质进行氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理和化学反应改变样品表面性质，从而优化材料表面性能，实现清洁、改性、刻蚀等目的。

1.2 行业应用

二、产品介绍

2.1 产品概述

KZL-400宽幅等离子清洗机(Plasma cleaner)，气体通过激励电源离化成等离子态，等离子体作用于产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。

2.2 产品优势

金属电极之间放置电介质，利用电介质表面的分极现象，形成均匀的电场，产生等离子体。

等离子模组适用于各种狭窄空间，可安装在生产线上，实现连续生产作业。

用气成本低，使用 N2/CDA 混合气体

可根据产品的宽度进行定制

2.3 产品结构

主要分为四大组成部分：高压激励电源、线性等离子发生装置、气体输送系统、排风系统。

（A）高压激励电源：

等离子体的产生需要高压激励，电源采用中频电源进行激励，数字化控制方式，可实现功率自匹配，保证功率的稳定输出，且输出精度高，输出功率不受气压波动，市网电压波动，喷枪电极老化等影响。参数需根据样品实际情况进行调节，以便达到最优的处理效果。

（B）线性等离子发生装置：

采用特有的等离子发生结构，常规处理温度＜60℃，均匀稳定，提高和保证设备的使用寿命和性能。

（C）气体输送系统：

搭配N₂和与CDA两路气体，根据清洗材质的不同，搭配不同气体。

（D）排风系统：

将等离子产生的臭氧去除的装置，可选配。

2.4 产品规格

2.5设备尺寸图纸

2.5.1枪头安装尺寸图

三、规格要求

3.1 厂务规格要求

3.2 配置清单

3.3 验收标准

3.4 易损件清单